薄膜科技之光,昶火微科助力异质钙钛叠层全光谱电池时代-全球热头条

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近年来，随着P型电池效率到达天花板，为追求更高发电效益，技术迭代声音愈发激烈。其中，更高发电效率和更大想象空间的HJT和钙钛矿叠层电池成为了行业和资本市场宠儿，自去年开始，新老企业频繁跨界融资，争先恐后挤进HJT、钙钛矿领域。

其中HJT因商业化量产已经基本成熟，成为近两年来跨界光伏最火热的领域，仅去年下半年开始，乾景园林、国立科技、正业科技、三五互联、国电投等先后宣布开启HJT项目规划建设，一度掀起资本市场热潮。产能方面，据记者统计，截止今年1月底国内HJT规划产能已经达到260GW左右，实际落地产能也已经达到了15.31GW，包括海外产能1.74GW，国内产能13.57GW。

而钙钛矿技术由于目前仍处于研发试验阶段，实际落地产能较少，目前上市公司中包括京山轻机、宝馨科技等均在钙钛矿技术上进行了研发布局，此外协鑫光电、纤纳光电等钙钛矿企业也于去年完成了千万级至上亿级融资。

从光伏技术路线看，HJT+钙钛矿叠层作为光伏技术终极路线，具有更为广泛的想象空间。最新的钙钛矿叠层光伏电池世界纪录显示，目前实验室钙钛矿/晶硅叠层技术效率记录已经达到了32.5%，而未来随着钙钛矿技术的迅速成熟以及HJT降本路线迅速优化，同时瞄准HJT和钙钛矿无疑具备巨大的成长空间。

从发展角度看，同时瞄准HJT和钙钛矿技术也将取得先发技术优势，先一步建立技术门槛，对于其后续发展和参与竞争无疑是十分有利的，然而实际上同时布局HJT和钙钛矿的企业屈指可数，除了因钙钛矿技术尚未进入商业化阶段之外，还包括HJT和钙钛矿叠层的薄膜工艺问题，包括多层薄膜多种工艺的节拍不匹配性问题，低温叠层材料的温度匹配性问题等。

不过目前，这一问题也已经取得了突破性进展。

作为微电子薄膜技术领域专家，上海昶火微电子科技有限公司在基于大面积薄膜领先技术优势下，在异质结及钙钛矿叠层电池核心工艺装备研发方面取得了重大进展，针对异质结及钙钛矿叠层高效电池的痛点开发了行业所需的运行高效、工艺灵活的大面积团簇式PECVD真空复合镀膜装备，具备完全自主知识产权。

腔体内部调试（正常运营时需抽真空）

据介绍，该装备利用簇型并行工艺的逻辑，解决异质结钙钛矿叠层的多层薄膜多种工艺的节拍不匹配性问题；利用低温镀膜解决低温叠层的材料的温度匹配性问题，同时具备2200mm*2600mm超大面积均匀镀膜的能力。同时昶火微科聚焦基础镀膜科技技术，扩展储备技术包括柔性OLED及半导体封装等领域。

目前，昶火微科研发的大面积团簇式PECVD真空复合镀膜装备已经开始了量产，将为HJT+钙钛矿叠层技术发展增添一股强劲动力，为未来HJT叠层电池量产铺平道路。